服務(wù)熱線
| 品牌 | FLUORO/日本福樂 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
1. 創(chuàng)新兩點(diǎn)接觸設(shè)計(jì)優(yōu)化晶圓處理
該晶圓夾持系統(tǒng)采用精密計(jì)算的兩點(diǎn)接觸方案，接觸點(diǎn)直徑嚴(yán)格控制在0.25-0.35mm范圍內(nèi)。接觸部位選用特殊陶瓷復(fù)合材料，表面經(jīng)過納米級拋光處理，粗糙度優(yōu)于Ra0.08μm，可有效減少90%以上的微粒污染風(fēng)險，滿足半導(dǎo)體制造對潔凈度的嚴(yán)格要求。
2. 安全夾持方案保障晶圓完整性
系統(tǒng)采用改性工程塑料替代傳統(tǒng)金屬材質(zhì)，其彈性模量經(jīng)過精確匹配。優(yōu)化的曲面接觸設(shè)計(jì)使壓力均勻分布在1.8-3.5N范圍內(nèi)，實(shí)測顯示晶圓破損率低于0.02%，特別適合處理超薄晶圓和精細(xì)電路圖案。
3. 智能壓力控制系統(tǒng)提升操作可靠性
集成式晶圓擋塊配備高靈敏度壓力傳感器，響應(yīng)時間小于30ms。當(dāng)檢測到壓力異常時，系統(tǒng)會自動啟動三級緩沖機(jī)制，確保接觸壓力始終維持在安全操作范圍內(nèi)，大幅提升自動化生產(chǎn)的穩(wěn)定性與良品率。
4. 模塊化清潔設(shè)計(jì)簡化維護(hù)流程
整體結(jié)構(gòu)采用無粘合劑方案，所有組件均可拆卸清洗。提供包括PEEK、PEI等在內(nèi)的多種材料選項(xiàng)，支持多種消毒方式。系統(tǒng)維護(hù)周期可達(dá)2000次操作，同時可根據(jù)客戶需求提供定制化的接觸端加工服務(wù)，滿足不同應(yīng)用場景的特殊要求。