服務熱線
| 品牌 | FLUORO/日本福樂 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
1. 杠桿機構實現高效省力操作
該晶圓夾持系統采用優化設計的杠桿結構，通過機械增益原理將操作力降低70%以上。鎖定機構激活后僅需維持0.5N的保持力，即可穩定支撐標準300mm晶圓，大幅減輕操作人員的勞動強度，使長時間作業更加輕松。
2. 智能鎖定確保穩定夾持
創新的自鎖式夾緊機構在閉合后自動保持預設壓力，無需持續施力。該系統配備壓力指示裝置，可直觀確認夾持狀態，避免因操作疲勞導致的壓力波動，保證每次操作的一致性。
3. 兩點接觸設計保障潔凈度
接觸部位采用精密加工的PEEK材料，兩點接觸結構將污染風險降至較低。PEEK材料具備280℃的耐溫性能和優異的化學穩定性，在保證夾持可靠性的同時，滿足半導體制造對材料純凈度的嚴格要求。
4. 人性化設計提升工作效率
系統重量控制在300g以內，符合人體工程學的握柄設計使操作更加舒適。實測表明，該設計可使晶圓轉移效率提升40%，同時將操作失誤率降低至0.5%以下，顯著提高生產線的整體良率。