服務熱線
| 品牌 | FLUORO/日本福樂 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
1. 兩點接觸結構優化晶圓處理工藝
該晶圓夾持系統采用精密計算的兩點接觸方案，接觸點直徑控制在0.3mm以內。這種設計通過減少接觸面積，將表面污染概率降低85%以上。接觸點采用特殊陶瓷合金材料，表面經過納米級拋光處理，確保在操作過程中不會產生微劃痕。
2. 安全夾持方案保護晶圓完整性
相比傳統金屬夾具，系統選用復合工程塑料作為主要接觸材料。該材料經過特殊改性處理，硬度控制在60-70HRC范圍內，既保證足夠夾持力又避免損傷晶圓。測試數據表明，該設計可將晶圓破損率控制在0.02%以下。
3. 智能壓力調節確保操作穩定性
晶圓擋塊集成壓力感應系統，能夠實時監測接觸壓力。當壓力超過3N時，系統會自動啟動補償機制，將壓力穩定在安全范圍內。這一功能特別適合自動化生產線，可有效防止操作失誤導致的晶圓損傷。
4. 可清潔設計滿足嚴苛環境要求
整體結構采用無粘合劑設計，所有組件均可拆卸清洗。材料選擇包括PEEK、陶瓷復合材料等多種選項，支持121℃高溫消毒。系統維護周期可達1500次操作以上，顯著降低使用成本。