服務(wù)熱線
| 品牌 | FLUORO/日本福樂 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
1. 精密兩點(diǎn)接觸設(shè)計(jì)保障晶圓潔凈度
該晶圓處理系統(tǒng)采用經(jīng)過嚴(yán)格計(jì)算的兩點(diǎn)接觸結(jié)構(gòu),接觸點(diǎn)采用特殊陶瓷復(fù)合材料制成,表面粗糙度控制在Ra0.05μm以內(nèi)。這種設(shè)計(jì)在保證穩(wěn)定夾持的同時(shí),將接觸污染風(fēng)險(xiǎn)降低90%以上,特別適用于300mm以下各類尺寸晶圓的精密操作。
2. 創(chuàng)新材料選擇確保操作安全性
系統(tǒng)摒棄傳統(tǒng)金屬材質(zhì),采用經(jīng)過特殊處理的工程塑料接觸部件,其彈性模量經(jīng)過精確匹配。接觸部位采用仿生學(xué)曲面設(shè)計(jì),接觸壓力均勻分布在2-5N范圍內(nèi),消除傳統(tǒng)金屬夾具常見的邊緣應(yīng)力集中問題。
3. 緩沖保護(hù)機(jī)構(gòu)提升操作可靠性
晶圓擋塊采用三級(jí)緩沖設(shè)計(jì),配備壓力感應(yīng)反饋系統(tǒng)。當(dāng)接觸壓力超過預(yù)設(shè)閾值時(shí),系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)啟動(dòng)補(bǔ)償機(jī)制,將壓力控制在安全范圍內(nèi)。這一設(shè)計(jì)使意外損壞率降至0.005%以下,大幅提升自動(dòng)化生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
4. 模塊化清潔結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化維護(hù)流程
主體采用無金屬一體化設(shè)計(jì),所有組件均符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)清潔規(guī)范。提供包括PPSU、PEI在內(nèi)的多種材料選項(xiàng),支持121℃高溫蒸汽滅菌。系統(tǒng)維護(hù)周期可延長(zhǎng)至2000次操作以上,顯著降低使用成本。







