服務熱線
| 品牌 | FLUORO/日本福樂 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
1. 優化接觸設計提升潔凈度
該晶圓處理系統采用兩點接觸結構，將接觸面積控制在0.5mm2以內。這種設計通過減少物理接觸點，有效降低了微粒附著和表面污染的風險，使晶圓在轉移過程中的潔凈度保持穩定。接觸點采用特殊弧度設計，確保受力均勻分散。
2. 安全材料保障晶圓完整性
系統選用工程級復合材料替代傳統金屬材質，其硬度經過精確調控。接觸部位表面經過特殊處理，摩擦系數控制在0.2以下，避免劃傷晶圓表面。測試數據顯示，該設計可將晶圓破損率降低至0.01%以下。
3. 智能限位機構防止操作失誤
配置的晶圓擋塊采用機械式緩沖設計，接觸壓力可自動調節在0.5-2N范圍內。當檢測到異常壓力時，系統會立即啟動保護機制，防止因操作不當造成的晶圓損傷，這一功能在自動化生產線中尤為重要。
4. 可維護設計延長使用壽命
整體結構采用模塊化組裝方式，所有部件均可拆卸清洗。材料選擇包括PEEK、Vespel等多種選項，用戶可根據具體工藝環境的溫度、潔凈度等要求進行配置。系統支持高溫高壓滅菌，滿足半導體制造中的嚴格衛生標準。