服務熱線
| 品牌 | FLUORO/日本福樂 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
1. 杠桿結構實現高效省力操作
該晶圓夾持系統采用雙支點杠桿設計，通過機械增益原理將操作力降低65%。鎖定機構啟動后僅需0.8N的保持力即可穩定支撐300mm晶圓，大幅減輕操作負擔，使長時間作業更加輕松。
2. 自動鎖定確保穩定夾持
創新的棘輪鎖定裝置在閉合后自動保持預設壓力，無需持續施力。系統配備壓力顯示裝置，操作人員可直觀確認夾持狀態，避免因疲勞導致的壓力波動。
3. 兩點接觸設計優化潔凈度
接觸部位采用精密加工的PEEK材料，兩點接觸結構將污染風險顯著降低。PEEK材料具備260℃耐溫性能，在多種化學環境下保持穩定，滿足半導體制造要求。
4. 定制服務提供專業解決方案
系統支持多種接觸端形狀和尺寸的定制加工，可根據具體應用需求提供專業方案。模塊化設計便于維護，使用壽命可達2500次操作以上。