服務熱線
| 品牌 | FLUORO/日本福樂 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
1. 杠桿力學設計提升操作便利性
該晶圓夾持系統采用雙支點杠桿結構，通過機械原理將操作力降低60%以上。鎖定機構啟動后僅需維持1N左右的保持力，即可穩定支撐標準200mm晶圓，大幅減輕操作人員的體力消耗，使長時間作業更加輕松舒適。
2. 智能鎖定系統確保穩定夾持
創新的彈簧輔助鎖定裝置在閉合后自動保持預設壓力，無需持續施力。系統配備壓力感應指示燈，通過顏色變化直觀顯示夾持狀態，有效避免因操作疲勞導致的壓力不足或過大問題。
3. 優化接觸設計降低污染風險
接觸部位采用醫用級PEEK材料精密加工，兩點接觸結構將接觸面積控制在0.12mm2以內。PEEK材料具備260℃持續耐溫性能，在多種化學環境下表現穩定，符合半導體制造對材料純凈度的嚴格要求。
4. 定制化服務滿足多樣化需求
系統提供多種接觸端形狀和尺寸的定制選項，可根據具體應用需求提供專業的加工方案。所有組件均采用模塊化設計，便于維護更換，平均使用壽命可達3000次操作以上，顯著降低使用成本。