春日KASUGA 靜電電位監視裝置KSD-0120
產品特點:
1:能用1臺控制器連接*大2ch的幅度電位傳感器(KS-2100)、能廉價地制造靜電監視系統。
2:因為是小型傳感器部、能設置在各種制造裝置內比較窄的地方、連續監視可能。
3:因為有警報設定、如果在超越了設定的電位時、能與各種制造裝置傳動。
4:裝備檢出傳感器的故障表示LED、能輸出到外部。
產品用途:
1:在平板顯示器生產工序的帶電量監視。
2:半導體wafer帶電量監視。
3:用于LSI的處理和印刷電路板搬送的帶電量監視。
產品規格:
型號 | KSD-0120 |
表示范圍 | 有效距離① ±1~±1999V |
有效距離②±0.01~±19.99kV | |
模擬輸出 | 0~±5V |
測量精度 | ±10%以內 |
警報設定 | 2頻道獨立設定及加減獨立設定 |
警報輸出 | 集電極開路(警報設定輸出及傳感器故障輸出) |
電源 | DC12~24V或是AC適配器 |
消耗電力 | 20VA |
環境 | 溫度0~40℃、濕度65%RH以下(不會結冰打霜) |
重量 | 約360g |
傳感器部
型號 | KS-2100 |
感應方式 | 振動型表面電位傳感器 |
測量范圍 | 有效距離① ±1~±2000V |
有效距離② ±0.01~±20.00kV | |
模擬輸出 | 0~±5V |
測量精度 | ±10%以內 |
測量基準距離 | 有效距離① 10mm |
有效距離② 50mm | |
警報 | 感應傳感器故障LED表示、外部輸出 |
電源 | 由KSD-0120供給 |
環境 | 溫度0~40℃、濕度65%RH以下(不會結冰打霜) |
重量 | 約100g(含電纜) |
附屬品 | 專用電纜5m(可用*大100m) |
春日KASUGA 靜電電位監視裝置KSD-0120







