日本HONDA本多石英振動體清洗機W-357-1MQG-SKC

石英振動體類型

下一代清洗技術，實現低損害和高清潔度

2006年石英振動體超聲清洗裝置投入實際使用。

在這種方法中，通過在石英振動體上疊加超聲波對半導體晶圓進行清洗。

與批量清洗和流水清洗相比，可以減少化學品的使用量，由于只有石英玻璃與液體接觸，沒有墊片等橡膠材料與液體接觸，因此能保持較高的清潔度。

石英振動體有不同的形狀，以適應不同的用途，能夠根據需要進行有效的清洗，如低損傷清洗、大面積清洗、斜面（邊緣表面）和缺口（晶圓邊緣表面的缺口）的清洗等。

概述

特長

對具有細微結構的晶片進行低損傷清洗

■通過在石英振動元件上疊加超聲波對半導體晶片進行清洗。

將超聲波振動從石英振動元件通過化學溶液傳播到半導體晶片上，接觸區的化學溶液振動，加速去除表面污染。

■清潔度高，對半導體晶圓的損害最小。

與使用橡膠材料（如墊片）的設備相比，使用石英與化學溶液接觸，可以確保清潔，而不會有橡膠溶出。

■震蕩器冷卻功能通過用氣體（如氮氣）冷卻震蕩器，可以實現穩定的連續工作，沒有頻率波動。

冷卻還能確保沒有溫度的突然變化，從而延長使用壽命。

用途

膠體殘留物的清除

封邊和灰化后的聚合物清除

柵電極極清洗

CMP后的清洗

規格

■發振器

類型 W-357-1MQG-SKC

振蕩模式 單頻震蕩

額定輸出 12W

標稱震蕩頻率 1MHz

電源輸入 AC100V～240V

單相50/60Hz 300VA

外部尺寸

WxDxHmm 180×250×100　

（不包括凸出部分，包括橡膠腳）

質量 2.2kg

●可變的輸出范圍：0W到12W（振動體的允許輸入：當使用空氣吹掃冷卻時，連續10W）。

●周圍操作環境：溫度：15至35℃，濕度：10至85%。

●外部驅動觸點額定值：超聲波振蕩控制（控制側）觸點輸入：12 V DC 16 mA min.

　報警輸出（主單元）觸點容量：24 V DC 0.5 A

■附屬電纜：電源線（100V為2米/200V為3米），控制線（5米）x4

■振動體

流量 未指明定

全長 159mm

卡盤尺寸 φ24mm

照射面積 24cm2

質量 600g

●工作液體溫度范圍：20-50℃。

●換能器：PZT

●材料：振動器：石英玻璃，墊片：硅橡膠，外殼：PCTFE

●線長：輸出線1.5米+繼電器線3.5米

●冷卻氣體接頭：兼容管（外徑?6）

*2MHz和3MHz也可根據特別訂單提供。

日本HONDA本多石英振動體清洗機W-357-1MQG-SKC