服務(wù)熱線
| 品牌 | AITEC/艾泰克 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
晶圓紫外線照射器
UV固化裝置 Wafer UV irradiator
緊湊、低成本的晶圓紫外輻照器，具有波長交換機制
特征
● 使用LED作為
UV照射光源的切割膠帶UV固化裝置 ● 可通過音量旋鈕調(diào)節(jié)UV照射強度（0～100%）
● UV照射器安裝結(jié)構(gòu)簡單，可輕松更換UV輻照器至其他波長 可更換
● 采用 N2 吹掃機制，減少 UV 固化的氧氣抑制● 采用 N2 預吹掃機制
，減少額外的 UV 照射時間
● N2 吹掃量可通過流量計閥門控制
UV照射光源的切割膠帶UV固化裝置 ● 可通過音量旋鈕調(diào)節(jié)UV照射強度（0～100%）
● UV照射器安裝結(jié)構(gòu)簡單，可輕松更換UV輻照器至其他波長 可更換
● 采用 N2 吹掃機制，減少 UV 固化的氧氣抑制● 采用 N2 預吹掃機制
，減少額外的 UV 照射時間
● N2 吹掃量可通過流量計閥門控制
應用示例
● 背磨時晶圓保護膜的固化 ●
切割后UV固化切割膠帶的固化
● 研發(fā)、實驗使用
● 小量生產(chǎn)使用
各部分名稱
半導體制造工序（后工序）
方面
典型示例：MUVBA-0.4 x 0.6 x 0.2
* 請注意，規(guī)格可能會因產(chǎn)品改進而發(fā)生變化。
數(shù)據(jù)代表示例
陣容列表
MUVBA-0.4 × 0.6 × 0.2
輻照器類型 發(fā)射波長 N2氣體流量 機身尺寸 W / D / H [mm] 輸入電源電壓 [V] UV-LED 表面輻照器 可選擇 365nm 385nm 395nm 405nm 1-10NL/min（流量可調(diào)） 350 x 600 x 190 AC100-240