服務熱線
| 品牌 | FLUORO/日本福樂 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
1. 多角度設計滿足多樣化需求
設備主體提供20度、45度、90度三種固定角度選擇，配合BC-K系列水平放置支架，可支持2英寸至12英寸晶圓的穩定處理。這種模塊化設計允許用戶根據具體工藝需求選擇最合適的工作角度，但需注意角度調整需要通過更換主體實現。
2. 精密導向系統確保安全接觸
創新的導向擋塊采用平緩錐度設計，使晶圓邊緣實現單點接觸，大幅降低劃傷風險。配備的抗靜電聚碳酸酯導向環不僅有效防止靜電損傷，還提供直觀的定位狀態和吸力情況視覺確認功能，提升操作安全性。
3. 輕量化結構兼顧強度與功能
主體采用導電尼龍樹脂材料，在實現設備輕量化的同時保證了必要的結構強度和靜電防護性能。這種材料選擇使設備能夠穩定處理包括雙面印刷圖案晶圓在內的各種特殊晶圓，最小可支持50µm厚度的超薄晶圓加工。
4. 定制化服務拓展應用范圍
除標準圓形晶圓外，設備還提供定制化設計服務，可針對方形等特殊形狀加工對象進行專門適配。這種靈活的解決方案能夠滿足科研機構和小批量生產用戶的特殊需求，展現設備的廣泛適應能力。